纳米级超精密音圈电机气浮运动台


纳米级超精密音圈电机气浮运动台

——自主研发高精度,高性价比

 
                                                                                                                                                                                         
一、公司简介

    上海纳兹 的目标是成为高科技产品和技术解决方案的领导者。在运动控制领域有着丰富的经验,我们有能力为您的需求提供最优的解决方案。 上海纳兹 的产品包括标准产品、定制系统、OEM 解决方案等。上海纳兹 所有产品都是以扎实的理论基础为依托进行的设计。为您提供的高精尖产品和解决方案包括:
    ·标准机电、控制产品和定制运动控制产品
    ·OEM 运动产品的设计和解决方案
    ·高级多轴运动控制系统的定制
    ·提供高精度等级的气浮轴承系统解决方案
    上海纳兹 的标准产品有直驱平台、转台、多轴伺服控制器。这些精准设计的产品可以满足科研和工业应用的最终要求。
    上海纳兹 在柔性铰链设计及应用、新型材料(陶瓷)的应用方面有丰富的项目经验。我们已经将这些前沿的设计方案融合到我们的产品当中。这些特殊 设计可以满足高伺服带宽、高刚性的运动系统产品。根据您的需求, 上海纳兹 有能力为您提供满足需求的运动控制解决方案!我们专业的工程研发团队能为您的特殊需求提供完美的设计方案!

 

二、产品简介

    纳米级超精密气浮运动台,包含粗动模块与微动模块。微动模块采用自主研发的气浮轴承及音圈电机驱动,可现实平面X、Y同步运动。采用激光干涉仪作为位置反馈,实现纳米级定位精度与重复定位精度。
    满足纳米级精度尺度的产品定制需求,适用于无掩摸激光光刻、激光直写光刻、光刻机等高端制造行业

                                                                                                                                                                 

三、主要参数

 包含粗动模块与微动模块,满足XY两个自由度的运行
 采用激光干涉仪作为位置反馈,可实现纳米级定位精度与重复定位精度
 微动模块采用自主研发的气浮轴承,气浮面为底座大理石表面,保证运动平面度
 最大速度500mm/s,最大加速度2g
 微动模块采用音圈电机驱动,无推力波动
 
 
四、主要应用

 科研
 激光加工制造
 半导体制造、检测
 工业制造
 电子零件生产、组装
 平面显示器制造、检测

   
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