自主研发平面XY二维运动气浮平台


平面XY二维运动气浮平台
——自主研发高精度,高性价比

 
                                                                                                                                                                                         
一、公司简介
    上海纳兹 的目标是成为高科技产品和技术解决方案的领导者。在运动控制领域有着丰富的经验,我们有能力为您的需求提供最优的解决方案。 上海纳兹 的产品包括标准产品、定制系统、OEM 解决方案等。上海纳兹 所有产品都是以扎实的理论基础为依托进行的设计。XiviTech为您提供的高精尖产品和解决方案包括:
    ·标准机电、控制产品和定制运动控制产品
    ·OEM 运动产品的设计和解决方案
    ·高级多轴运动控制系统的定制
    ·提供高精度等级的气浮轴承系统解决方案
    上海纳兹 的标准产品有直驱平台、转台、多轴伺服控制器。这些精准设计的产品可以满足科研和工业应用的最终要求。
    上海纳兹 在柔性铰链设计及应用、新型材料(陶瓷)的应用方面有丰富的项目经验。我们已经将这些前沿的设计方案融合到我们的产品当中。这些特殊 设计可以满足高伺服带宽、高刚性的运动系统产品。根据您的需求, 上海纳兹 有能力为您提供满足需求的运动控制解决方案!我们专业的工程研发团队能为您的特殊需求提供完美的设计方案!

 

二、产品简介

    SST 系列运动平台是上海纳兹持续在高级材料、特有加工技术、精密结构分析和设计上不断投入的结果。我们研发 SST 的目标是为今天要求严格的半导体工业设备提供高精度和高产出率的运动系统,同时使我们有着在迎接未来的挑战中能保持领先的技术能力。SST 气浮平台能满足电子及半导体加工、检测设备的具有挑战性的要求。

                                                                                                                                                               

三、产品特点

    传统的平面式 XY 双驱气浮平台,都采用双气浮导向导轨的形式。双气浮导轨结构在安装调试时对导轨本身的精度以及导轨之间的平行度要求很高,并且该结构形式对环境恒温要求高。SST 系列运动平台为了解决这些问题采用了开放式 T 型气浮结构设计。T 型结构具有机械安装调试简单、对环境的恒温要求低,便于集成到客户产品当中。
 
四、主要参数


   平面 XY 运动气浮平台
 花岗岩基座、紧凑式整体
 集成式压力、真空气浮元件
   SST400 气浮平台主要应用于需要高精度、高重复性和高产出率的系统。
   关键性能指标
 行程:400mm & 400mm
 加速度: 1G X 轴、2G Y 轴
 速度:500mm/s
 重复性: ± 40nm
 精度:0.5um(直线编码器)
 小于 0.1%的速度纹波
 Settling time (± 100nm ): <100ms
 自然频率:100Hz

五、产品应用

 科研
 激光加工制造
 半导体制造、检测
 工业制造
 电子零件生产、组装
 平面显示器制造、检测
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